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中科卓尔融资数亿元,攻坚高端石英空白掩模版!
近日，成都中科卓尔智能科技集团有限公司（简称“中科卓尔”）完成数亿元B+轮融资。本轮资金将重点投向高端石英空白掩模版的核心工艺研发与量产产线建设。
为什么是空白掩模版？
空白掩模版是光刻工艺的“母版”，其基板的纯度、平整度及缺陷控制水平，直接决定光刻图形转移的质量与芯片良率。长期以来，高端石英空白掩模版及核心制造装备被少数国外厂商垄断，是我国光刻产业链上游最突出的“卡脖子”环节之一。
当前，全球半导体产业格局深度重构，国际上对半导体设备、材料与相关技术的出口管制持续加码，高端掩模基板及其制造装备的进口通道不断收窄。国内下游光刻掩模版客户对稳定、安全、自主可控供应链的需求，从未如此迫切；在国家科技自立自强战略与国产替代进程全面提速的大背景下，谁能率先实现高端石英空白掩模版的自主量产，谁就能为我国半导体产业链补上这块关键拼图。
中科卓尔：走“最难但最稳”的自主装备路线
中科卓尔成立于2018年，聚焦半导体与显示面板上游核心材料——空白掩模版（Blank Mask）的国产化，是国内极少数同时构建“核心材料+关键工艺+智能制造”全产业链闭环的国家级高新技术企业、国家专精特新“小巨人”。
公司攻克了超精密抛光与真空镀膜等关键技术，自主研制的磁控溅射镀膜装备获首台套产品认定；建有企业技术中心与中试平台，并与电子科技大学共建联合实验室。
与行业普遍采用“进口设备+工艺引进”的路径不同，中科卓尔从创立起就坚持核心工艺装备自主研发：超精密抛光、真空镀膜等关键设备由企业自主设计，或与国内优质装备企业联合研制，工艺Know-how完全自主沉淀。
这意味着公司不受“引进一代、落后一代”的路径锁定，也不会在量产爬坡期遭遇装备断供。迭代速度、成本效率与工艺协同能力，正是其率先推进高端量产的底层底气，也是产业资本坚定下注的核心逻辑。
本轮融资后，公司将进一步打通“材料检测—精密抛光—真空镀膜—智能制造”全链条，加速从技术验证走向规模化量产。
空白掩模版基板有多难？
空白掩模版基板（又称光掩膜基板）主要采用石英玻璃与钠钙玻璃。钠钙玻璃多用于中低端场景；石英玻璃因纯度高、化学稳定性强、透光性优异，是IC高端光刻的首选。
光刻级石英对性能极为苛刻：仅光学均匀性就需控制在1.0×10-6（cm/cm）以内，对石英锭熔制、加工全链路都提出极高标准。
石英锭制备分为两大类：熔炼石英玻璃，以电熔、气炼工艺为主；合成石英玻璃，包括化学气相沉积（CVD）、等离子化学气相沉积（PCVD）、间接合成法等。
其中，CVD工艺最为典型：以SiCl4为原料，在氢氧焰中高温水解生成SiO2微粒，经沉积熔化形成高纯石英锭；再经切割、热加工成型、冷加工磨抛，最终制成光掩模石英玻璃基板。工艺链条长、良率窗口窄，是真正“纳米级的基本功”。
结语
空白掩模版虽不起眼，却是芯片光刻的“底片”。中科卓尔以装备自主切入最难的基板环节，正在把国产替代从概念推进到产线。此次B+轮融资，不只是资本加持，更是高端半导体材料“从实验室走向规模供货”的关键一跃。
参考来源：中科卓尔；公开报道
聚焦空白掩模版及合成石英材料产业链，交流技术研发、产品应用、市场动态、产能项目及上下游合作资源，欢迎行业同仁加入交流。 
—论坛信息—
名称：空白掩模与合成石英材料技术论坛2026
时间：2026年12月3-4日
地点：苏州
主办方：亚化咨询
—会议背景—
空白掩模版（Blank Mask）是先进半导体和新型显示光刻工艺中的关键原材料，其底层依托高纯合成石英材料和高精度光掩模石英基板。以 SiCl₄、有机硅等为前驱体的气相合成路线制得高纯合成石英玻璃锭，再经石英基板生产空白掩模版。
在成熟制程与先进制程并行扩产、HBM 高带宽存储，AI 芯片需求拉动下，光刻工艺对掩模石英基板和空白掩模版提出更严苛的性能指标。同时，TFT‑LCD、OLED、Micro‑LED 等新型显示对石英基板的平整度、尺寸精度和批量一致性也不断抬高门槛。这些要求正反向推动合成石英原料体系、气相合成工艺、玻璃化与脱羟技术以及大尺寸石英基板精密加工的全面升级。
目前，高端合成石英玻璃与空白掩模版仍由少数日美企业主导，对中国半导体与 AI 产业链的算力供给和工艺安全构成关键约束。面向成熟制程与先进工艺节点以及 AI 芯片量产，构建以合成石英为核心的高端掩模材料体系，实现石英基板和空白掩模版的国产化，是半导体与算力产业链的重要基础工程。
在此背景下，亚化咨询将于2026年12月3–4日在苏州主办空白掩模与合成石英材料技术论坛2026，以“气相合成—石英基板—空白掩模版”为主线，聚焦先进半导体和AI芯片制造所需的合成石英技术路线、石英基板工艺和空白掩模版制造与检测技术，推动材料、工艺、装备与下游晶圆厂/面板厂协同，探索高端掩模材料国产化和算力基础设施安全的实现路径。
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时间：2026年12月3-4日
地点：苏州
主办方：亚化咨询
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时间：2026年12月3-4日
地点：苏州
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—会议预告—
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