夜雨聆风
软件应用:以数据文件的方式汇入表面结构,建立光学结构模型
在建立光学结构的模型过程中，常常会遇到需要使用「数据文件汇入」的方式定义表面结构与特性，尤其是LED/OLED、绕射组件等具有复杂图案的结构表面。RSoft CAD支持使用者可以利用汇入的方式客制化表面微结构，以利用户可以准确地将模拟与实验进行比较。在本文中，将会介绍如何在RSoft CAD中汇入数据、建立结构并确认其正确性。
使用RSoft CAD汇入数据的方法，可接受的数据格式是以「ASC-II」格式为主的数据格式，一般常见的量测方法为AFM等显微镜影像。图 1是本文中所使用的AFM数据与其绘图，主要用于在RSoft CAD中设定表面的粗糙度（Height Profile）。
图 1
在设定上，表面的粗糙度通常是XZ平面上函数，Y方向上则为高度（Height）分布。图 2是在RSoft CAD中汇入数据的表面结构绘图，可以看出相对应的表面粗糙度皆能列入计算。
图 2
一般案例中，使用者可以利用RSoft CAD的Coating Utility加入镀膜的材料与设定。图 3是在上述的案例中加入镀膜的结构横切面，用户可以利用Coating Utility根据现有结构再加入一定厚度的镀膜：
图 3
Coating Utility是以指令的方式进行操作，举例来说，若使用者需要加入厚度为100nm的镀膜层（折射率1.5），相关的指令如下：
其中「-t」表示厚度，单位为μm；「-sx/-sy」则为延XY方向上放大缩小的倍数，必须与AFM档案的设定相符。执行该指令后，同文件夹底下会新增「afm_coat.dat」资料文件，用户可以进行汇入。
在RSoft CAD中，先建立两组「User Profile」，分别是结构与镀膜，如图 4所示：
图 4
建立完毕后，可以利用「Test」检查所建立的档案是否正确。确认完毕后，建立一组结构，并将其「3D structure」建立为「Multi-Layers」，方能设定「Height Profiles」，如图 5所示：
图 5
建立结构后，利用「Display MaterialProfile」检查表面结构与镀膜，如图 6所示：
图 6
总结
在本文中我们介绍如何在RSoft CAD中汇入实际量测的表面粗糙度，并可以利用Coating Utility加入特定的镀膜材质，以利用户能将实际的结构状况列入仿真条件中，提高模拟的准确度，并进行实际量测的比较。
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