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工业AI的三次跃迁:赛美特如何理解工业软件与AI的融合

本期《AI Factory》专栏围绕算法工坊,详解工业AI的三次跃迁,结合赛美特对工业软件与AI融合的持续探索,介绍AI能力如何与制造场景、业务流程和工业数据等结合,为工业AI走向更深层次的应用提供思考。
当一条产线出现质量波动,系统已经发出报警,工程师却还要到不同系统里查设备轨迹、核对量测结果、翻维修记录,再协调下一步处置。数据越来越多,判断依赖经验,行动严重滞后,这正是工业AI需要解决的问题。
近年来,大模型和生成式AI快速发展,让大家看到了解决问题的新方向,但也带来了一个容易混淆的认识:给工厂配上Agent,是否就拥有了工业AI?理解工业AI的三次能力跃迁,有助于了解各类技术的底层逻辑和应用价值,以及它们如何共同构成更智能的制造系统。
工业AI的价值在于改善生产决策
工业AI,是把人工智能与工业数据、领域知识和生产流程结合,用于识别状态、预测风险、辅助决策和优化执行的一套系统性能力。
它并不等同于某一种模型或某一个产品形态。机器学习、深度学习和大语言模型,都是实现AI能力的不同技术路径;机器学习是AI的一类方法,已经在工业软件行业应用多年,深度学习是机器学习的重要分支,大语言模型则是其中面向语言理解与生成的一类模型。Agent是围绕目标组织步骤、调用模型与工具的系统形态。本文讨论的GenAI Agent,特指由生成式AI支持的智能体。评价它,需要看一次异常是否更早发现、一个分析结论是否更有依据、一次处置是否真正改善了生产。

图1:工业AI融合AI方法、领域数据与领域知识。图中的GenAI Agent特指由生成式AI支持的智能体
因此,一个经过验证、便于维护的专用模型,即使不配备Agent,也可以承担设备健康评估、质量预测等关键生产判断;而GenAI Agent的价值,在于进一步整合数据、知识、专业模型和工业软件,推动跨系统协作与任务闭环,真正改善了生产决策,例如:
🔹异常是否被更早发现?
🔹分析结论是否有充分证据支持?
🔹工艺调整是否满足生产约束?
🔹处置结果是否被记录并验证?
🔹上一次积累的经验,能否帮助下一次问题更快解决?

图2:从学习规律、复杂模态学习与预测优化,到组织任务闭环,工业AI的能力持续叠加
从经验规则到Agent:
工业AI经历的三次跃迁
第一次跃迁:从经验规则到数据学习
工业AI的最早形态,是经验规则。
早期,工程师们把工程经验写成规则。这些规则在边界清楚、稳定发生的问题上十分有效,但面对复杂工况时,往往难以覆盖所有情况。经典机器学习带来了第一次跃迁:让模型从数据中学习规律。工程师先把电流、温度、振动等信号转化为有意义的特征,再通过回归、分类或聚类,判断设备状态。
例如,设备电流升高,可能来自负载变化,也可能意味着部件劣化。模型需要结合运行工况,建立正常行为的参照,才能辨别哪些变化值得关注。这一过程中,领域知识决定怎样组织数据,数据帮助检验经验能否成立。
这次跃迁使经验获得了可量化、可验证的表达。对于样本有限、任务边界清楚的工业问题,经典机器学习至今仍有实际价值。一个经过验证、便于维护的专用模型,完全可以承担关键生产判断。
第二次跃迁:从人工特征构造到复杂模态的学习、预测与优化
随着制造过程越来越复杂,很多问题很难用人工指标表达。
当缺陷藏在产品质检图中,或异常只体现为一段工艺轨迹的细微变化时,少数人工指标往往难以充分解释。这时,深度学习能够从图像、时序等复杂模态中学习表征,将学到的规律用于缺陷识别、质量预测,并结合优化算法支持工艺参数调整。这构成了工业AI的第二次跃迁:从依赖人工特征构造,发展到学习复杂数据中的隐含规律。
但学到规律,还要放回具体工况中验证。同样的轨迹变化,在不同配方、工艺步骤或设备状态下,含义可能不同。根因分析需要机理与工程证据支持,优化策略需要满足生产约束;相关性不能直接当作因果关系,预测准确也不等于调整方案已经有效。
业内将专业模型的核心能力归纳为CARE:识别隐性模式,分析与预测,形成优化决策,再结合执行结果与专家反馈持续学习。它概括的是面向工业问题的能力体系,可以由经典机器学习、深度学习与机理融合方法共同支撑。专业程度取决于能否解决并验证具体问题,而不取决于模型参数规模。

图3:CARE概括专业模型的四项核心能力;执行结果与专家反馈推动模型和知识迭代,更新经验证后应用
第三次跃迁:从单点分析到任务闭环
前两次的跃迁,主要提升了模型识别、预测和优化的能力。第三次跃迁,则是把这些分散的能力组织起来,形成面向任务的协作闭环。
基础模型通过广泛预训练获得可适配多类任务的能力。[1] 生成式AI进一步降低了阅读文档、理解需求和组织信息的门槛。当模型能够调用工具、根据返回结果调整后续步骤,GenAI工业应用Agent便有机会把分散的分析能力组织起来。[2]
以一批产品的质量异常为例,工业应用Agent可以做到:
1.围绕排查目标,检索工艺规范与历史案例
2.调取相关设备和批次数据
3.调用异常检测、虚拟量测等专业模型
4.汇集证据并提出追加量测或维护检查建议
5.满足规则与授权条件后,工业软件负责执行并记录结果
6.处置效果再反馈给Agent平台,用于知识、模型与策略的持续迭代

图4:结果反馈作用于整个Agent平台,推动知识更新、模型迭代与策略优化;更新经验证后上线,形成持续学习的闭环
在这个过程中,大模型和Agent发挥的是“理解、组织和协同”的作用;真正承担设备健康评估、质量预测和工艺优化的的有效模型,仍然是经过验证的专业模型,因为专业判断所需的工况适配、数值精度、不确定性评估与现场验证,不能由一段流畅的解释代替,工业应用Agent需要调用这些能力。传统工业软件同样有明确职责:维护设备、批次和工单的真实状态,执行规则,保证操作一致并留下记录。随着工业应用Agent参与跨系统协作,软件的接口和交互方式可能改变,生产执行与约束管理的责任仍然需要可靠承接。
从技术演进到制造现场:
工业软件与AI的融合
赛美特长期服务于半导体制造场景,持续积累工业数据、工艺知识、设备经验和业务流程。这些能力构成了工业AI真正需要的基础设施。目前,围绕半导体等先进制造领域,赛美特重点布局四类工业AI场景。覆盖设备健康与维护、工艺质量与良率、工程知识与分析、工程协同与自动化四个方向。不同生产问题,需要不同能力组合。
业务 方向 | 代表 场景 | 业务 价值 |
设备健康与维护 | 工艺设备:刻蚀机静电吸盘剩余使用寿命预测;扩散炉舟传动电机健康预警 辅助设备:干式泵故障诊断;机械臂预测性维护;Stocker减速机故障预警 | 保障产能:把设备状态与维护时机联系起来 |
工艺质量与良率 | 工艺异常识别:刻蚀、PVD轨迹异常识别与Trace级归因 CMP设备:材料去除率预测 薄膜工艺设备:膜厚与折射率预测 刻蚀设备:刻蚀深度与逐片关键尺寸预测 CMP工艺优化:研磨时间与压力的闭环优化 | 稳定良率:连接异常征兆、质量影响与工艺调整 |
工程知识与分析 | 根本原因分析:良率异常定位、共通性分析与多源证据核查 智能案例管理:案例归集、相似案例检索与处理经验复用知识检索与排障指引 | 经验复用与沉淀:让工程经验进入具体问题的分析过程 |
工程协同与自动化 | 生产日报与分析报告生成 备件拍照识别 料号确认 库存库位联查 | 提升效率:减少取数、查料与整理信息的重复劳动 |
工业AI的下一站,
正走向有边界的自主协作
据研究判断,工业AI的自治能力,将沿着智能辅助、受控自治、目标自治逐步演进。智能辅助由AI提供分析建议、人决策执行;受控自治让系统在授权边界内闭环处理任务,人监督、定约束条件与接管例外情况;目标自治则进一步围绕良率、产能和成本组织跨系统协作,人负责设定目标,评价效果。
这是一种演进路径的判断。同一座工厂会长期并存多种自治程度,自治范围需要随验证证据积累逐步扩大。知识查询与工艺参数调整的风险不同,不应采用相同的自主执行边界。
这一过程需要持续建设。配方切换、设备老化或维护更换,都可能改变数据分布。系统既要监测模型是否失效,也要用处置结果与工程师反馈持续更新知识、模型和策略;更新经过验证后再上线,并保留降级路径。

图5:智能辅助、受控自治与目标自治的分工演进。多种自治程度可以长期并存,自治范围随验证证据积累逐步扩大
对制造企业而言,值得积累的是三类可复用的能力:
🔹可复用的数据上下文
🔹经过验证的专业模型
🔹承接行动的业务接口
这些能力,决定了下一次异常处理能否真正调用上一次的经验,也决定了新的Agent接入后,是否具备专业依据、可靠工具和清晰的执行路径。
应用工业AI,不是让大模型独自接管工厂,而是让数据、知识、模型、软件与工程师形成更高效的协作关系。从经验规则到数据学习,从人工特征到专业模型,再到生成式AI与工业Agent,工业AI正在经历新的能力跃迁。
但无论技术如何演进,最终都要回到一个核心问题:有没有真正解决制造现场的问题?数据能够被理解,知识能够被调用,专业模型能够被验证,业务系统能够承接执行,工程反馈能够持续沉淀——这正是工业软件长期积累的价值。
基于工业软件能力,赛美特持续探索从工业数据、专业模型、企业知识到智能Agent的融合,让AI进一步连接分析决策与业务执行,真正服务制造过程:看懂现场、理解问题、辅助判断、执行改善,并在真实生产反馈中持续进化。
参考文献
[1] R. Bommasani et al., “On the opportunities and risks of foundation models,” arXiv:2108.07258, 2021, doi: 10.48550/arXiv.2108.07258.
[2] S. Yao et al., “ReAct: Synergizing reasoning and acting in language models,” in Proc. 11th Int. Conf. Learn. Represent. (ICLR), 2023. [Online]. Available: https://openreview.net/forum?id=WE_vluYUL-X
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关于赛美特
赛美特,备受客户信赖的智能制造软件方案供应商,自研全自动化CIM解决方案已在多家12吋晶圆厂获得量产验证。
业务领域包含半导体业、光伏产业、电池制造、装备制造、化学工业、汽车零部件等,为工厂的可持续发展提供高效灵活的运营管理平台,助推制造企业朝着智能化、自主化、绿色化方向发展。
