
你知道光刻机为什么这么贵吗?
除了技术,还有一个更烧钱的东西——掩膜版,也就是光刻用的"模板"。
一套先进制程的掩膜版,造价几百万到上千万,改一次版图还得重新做,慢、贵、烦。
而现在,有一类光刻机正在甩掉"模板",不需要实体掩膜,直接把设计图"画"上去,改版只需改文件。
这台"不用模板的光刻机",正悄悄吃掉107亿的市场,而其中近一半在中国。
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1. 什么是无掩膜光刻:把"模板"换成数字文件
传统光刻(掩膜光刻)的原理,是拿一张刻好图形的"模板"(掩膜版),像盖章一样把图形曝光到电路板上。图形一旦定版,改版就得重做模板,周期长、成本高。
无掩膜光刻则相反:不需要实体模板,直接把CAD版图文件转成光信号,像打印机一样在基板上"画"出线路。
改版只改文件,几分钟切换,零制版成本。
按辐射源分,它又分两大路线:光学直写(激光直写LDI、动态掩膜DMD)和带电粒子直写(电子束EBL、离子束)。
其中激光直写是当前产业化的主流。
这项技术的最大意义,不是替代芯片前道的光刻机,而是让PCB、IC载板、先进封装这些"电路板级"光刻甩掉模板枷锁,线宽越做越细、改版越来越频繁,模板路线开始跟不上。
无掩膜光刻机的两种主流工作原理:SLM空间光调制器 + DLP数字光处理

来源:Heidelberg
2. 107亿市场,5年涨55%,中国占近一半
按头豹研究院口径,2025年全球无掩膜光刻机市场规模约107亿元,预计2030年增至约166亿元,对应CAGR约9.2%。
其中中国市场2025年约51亿元,占全球比重约47.5%,预计2030年升至约87亿元,占比进一步提升至52.5%。
中国不仅是最大买家,还在越买越多。
中国无掩膜光刻机市场规模(2020-2030E)

来源:头豹研究院
中国市场跑得比全球快,核心原因就一个:
中国是全球最大的PCB生产地。
TPCA数据显示,2025年中国大陆PCB市占率预计达37.6%。
PCB厂越多、板子越高阶,就越需要这种免模板、快换线、高精度的直接成像设备,无掩膜光刻机正好踩在这波PCB高端化升级上。
3. 除了PCB,它还在啃IC载板和先进封装
无掩膜光刻的应用,正在从PCB向两个更高价值的领域延伸:
PCB领域
常规PCB量产线曝光是最大基本盘,随着AI服务器、数据中心推动HDI、多层板向更细线宽/更严对位升级,传统菲林曝光在精度和换线效率上逐步触顶,无掩膜激光直写(LDI)成为高端PCB升级的核心受益设备。
无掩膜光刻机在PCB领域的应用:高阶HDI/精细线路量产

来源:公开资料整理
IC载板
BT载板(手持/通信/存储)和ABF载板(CPU/GPU/FPGA)都需要更细的线路和更高对准精度。
其中ABF载板是IC载板中技术难度最高的领域,对无掩膜光刻机的细线宽、套刻精度要求更苛刻,目前海外Nikon、SCREEN、EVG等仍处领先地位,国内芯碁微装、天准科技、源卓微纳等正在追赶。
ABF/高端IC载板:无掩膜光刻机性能指标(海外 vs 中国厂商)

先进封装
RDL、UBM、micro-bump、Fan-out、WLP/PLP等环节,对高精度图形化、动态补偿和大面积曝光要求更高。无掩膜光刻无需实体掩膜版,还能实时补偿基板翘曲,正从PCB场景向先进封装加速延伸,这是它的下一个高价值增量。
无掩膜光刻机在先进封装的应用:晶圆级与面板级封装

换句话说:PCB是基本盘,先进封装是第二增长曲线。
4. 谁在造:国产梯队已经站上牌桌
海外巨头(KLA、Nikon、Mycronic、Heidelberg、RAITH等)盘踞高端,但中国厂商已经在产业化主力场景站稳了脚跟:
覆盖PCB、IC载板、先进封装、掩膜版制版全环节的芯碁微装,是全球主要的PCB直接成像设备供应商之一;
江苏影速由中科院微电子所联合产业基金发起成立;大族数控提供面向HDI和IC封装基板的激光直接成像系统;天准科技推出TZDI系列激光直接成像设备;中山新诺、凯世光研等也深耕激光直接成像。
中国主要无掩膜光刻机厂商汇总(产业化设备梯队)

头部中国企业可以同时覆盖PCB、载板、先进封装、掩膜版等多个场景,虽然在最高端的亚微米领域仍处追赶期,但在产业化的"基本盘"上,国产已经不再是"能不能做"的问题,而是"抢到多少份额"的问题。
5. 藏在设备里的"高价值环节":光学镜头
无掩膜光刻机里,光学镜头模组不是最贵的单一模块,却是决定成像精度、均匀性和套刻能力的关键。头豹数据显示,在主流PCB/IC载板设备中,光学镜头模组约占整机成本的8%-12%;在先进封装等亚微米高精度设备中,占比进一步提升至12%-18%。
而这个环节的国产化,正在加速:波长光电已推出LDI激光直写镜头;永新光学的光刻镜头已规模化供应,多数产品实现国产替代;联合光电、百合特种光学等也已在LDI光学引擎和无掩膜光刻镜头上取得专利布局,部分已供应大族激光等头部客户。
中国对无掩膜光刻机光学镜头模组的年需求量约为1200-1500套,对应的是一个稳定放量、国产渗透率持续提升的零部件市场。
无掩膜光刻听起来像"半导体光刻机"的近亲,但它真正的主战场,是AI时代被反复强调的PCB、IC载板和先进封装。
AI服务器、数据中心、新能源汽车带来的高密度板需求,正在把"免模板、快迭代、高精度"的无掩膜直写设备,推到PCB高端化升级的C位。
市场107亿、中国占近半、国产设备商和镜头厂商都已卡位——这不是"能不能国产替代"的故事,是"国产已经吃掉多少份额、还能吃多少"的故事。
无掩膜光刻的下一站——PCB高端化、IC载板、还是先进封装,你觉得哪个先放量?
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