应用分享|Sensofar 3D光学轮廓仪在玻璃表面质量的精密测量上的应用

仪器设备介绍

玻璃测量新选择

在光学玻璃、电子屏显示及精密仪器制造领域，玻璃表面质量直接影响光学性能与使用寿命。Sensofar共聚焦白光干涉仪集成共聚焦、白光干涉与相位差干涉技术，凭借其多技术融合优势及非接触测量特性，为玻璃表面粗糙度、面形精度及微观缺陷检测提供高精度计量方案。

Sensofar S neox能够实现微观表面高精度检测的同时避免对样品的机械损伤，有效满足各类玻璃表面质量控制的严苛需求。

Sensofar设备创新性地整合了共聚焦显微镜、白光干涉仪和相位差干涉三大技术，通过智能软件实现无缝切换：

　　1.白光干涉模式：针对玻璃等光滑表面（如光学镜片、手机盖板），提供纳米级垂直分辨率，可精确测量表面粗糙度Ra值至0.1nm级别

　　2.共聚焦技术：在测量玻璃边缘或带微结构的表面时（如3D曲面玻璃），保持70°斜面测量能力，横向分辨率达0.10μm

　　3.相位差干涉：对超光滑玻璃基板（如半导体晶圆）实现亚纳米级精度检测

　　其自有的真彩色共聚焦成像技术，通过RGB三色LED照明还原真实色彩，便于识别玻璃表面的微观缺陷。

1.样品准备：将玻璃试样置于防震平台，选择合适倍率物镜（5×-150×）；

　　2.模式选择：通过SensoSCAN软件自动匹配测量模式；

　　3.数据采集：5轴系统确保全表面覆盖，尤其适合异形玻璃检测；

　　4.分析输出：自动生成三维形貌图、粗糙度曲线、缺陷分布报告。