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关于封装专用凹槽玻璃的几点说明

关于封装专用凹槽玻璃的几点说明

1.应用领域:主要用MEMS、光芯片、军工芯片气密封装,现在也广泛用于钙钛矿太阳能电池、OPV有机光伏器件封装。

2.成本偏高原因:凹槽玻璃要选用高纯进口特种玻璃普通玻璃无法加工,内侧凹槽需要微米级精密蚀刻,微裂纹问题导致良品率偏低;进口设备投入昂贵,产品大多按需定制,很难大规模量产,报废损耗进一步拉高成本;后处理工序繁多,必须在半导体无尘车间生产,

3.完整工序:原片裁切→双面纳米级抛光→光刻蚀刻凹槽→边缘精密倒角去崩边→半导体级超纯水超声波清洗(十几道清洗步骤)→可选AR增透膜真空镀膜→真空包装(可直接使✔用)。

4.适配钙钛矿与OPV的核心逻辑:钙钛矿、有机薄膜对水汽、氧气、机械挤压极其敏感。凹槽空腔可以避开盖板压坏活性层;实现无机气密密封,隔绝外界水汽;腔体内部可营造无氧环境,锁住内部挥发物质,大幅提升器件使用寿命,这些优点,平面玻璃无法实现。看似都是一块玻璃,背后工艺壁垒差距很大。

5.如何选择凹槽玻璃:根据自己的蒸镀区域和遮光测试区域,只需要保护有效面积区域即可,无需将玻璃的整体尺寸全部嵌入凹槽中。

来源:利博科技 Libra 

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