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《台积电CoPoS方案——纠正说明》:用方形临时玻璃载板,不是玻璃基板

《台积电CoPoS方案——纠正说明》:用方形临时玻璃载板,不是玻璃基板

特别说明:之前我有一篇文章写了CoPoS前景,说是玻璃基板替换硅中介层,是错误的。

实际上没有替换中介层,而是用方形临时玻璃载板替换掉圆形临时玻璃载板。

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市场在炒作玻璃基板。但实际上台积电的Co­P­oS方案,只是圆形临时玻璃载板替换成方形临时玻璃载板。

压根不是替换中介层,也不是玻璃基板。

这个临时玻璃载板只是临时辅助工艺工具,辅助平整用的,最终会剥离出来。

不在永久封装结构里。

一、CoWoS-R

图1:CoWoS-S(矽中介板)

结构从上到下:

(1)Logic芯片 + HBM 并排放置

(2)红框标注的层 = 硅中介层(Silicon Interposer),这是CoWoS-S的核心,用TSV(硅通孔)垂直互联,顶部用细密的RDL横向连接Logic和HBM

(3)Substrate(有机基板)= 传统ABF基板,负责连接到PCB

这里的硅中介层就是我之前说的"成本极高、占用晶圆产能"的那一层。

二、CoWoS-L

图2:CoWoS-L(导线载板)的制作流程,展示了玻璃临时载板的使用

三个阶段从上到下。

2.1第一阶段(上图)

(1)红框标注 = 临时载板,材料是"圆形或方形玻璃"。

(2)芯片(处理器+记忆体)、矽桥、RDL导线重布层都在这个玻璃载板上完成制作。

(3)暂时贴合层负责后续解键合

2.2第二阶段(中图)

(1)玻璃临时载板已经剥离;

(2)翻面,形成焊接凸块;

(3)两侧进行晶粒切割(singulation)。

2.3第三阶段(下图)

(1)最终贴合到导线载板(导线基板)上;

(2)这个导线载板才是最终产品中的永久结构件。

三、关键对比

3.1 CoWoS-S

核心互联层——硅中介层(永久,留在产品中)

玻璃的角色——不涉及

最终基板——导线载板

成本——更高(硅中介层贵)

3.2CoWoS-L

核心互联层——硅桥+RDL(永久)

玻璃的角色——临时载板,工艺完成后剥离

最终基板——有机Substrate

成本——相对较低

四、CoPoS里面用方形临时玻璃载板,不是玻璃基板

台积电最新的方案里,P是图2里的玻璃正是我们说的玻璃临时载板,不是玻璃基板。

它在流程结束后就消失了,不在最终产品里。

原本玻璃临时载板是沿用半导体工艺设备,玻璃载板也是12寸圆形,现在改用为方形,达到节约成本,提高产能。

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