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一瓶特气到底有多少方?厂务常用气体Excel计算表来了

一瓶特气到底有多少方?厂务常用气体Excel计算表来了

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一瓶20kg的NF₃,换算到标准状态有多少方?47L、10MPa的5%磷烷混合气,其中磷烷又有多少?

做气体装量核算、备气量估算或新人培训时,这些问题经常遇到。每次重新查摩尔质量、换压力单位、套公式,既费时间,也容易遗漏条件。
为此,我整理了一份**《半导体气体体积自动计算表》**,把常用计算放进Excel,方便反复使用。
这份工具包含:
37种纯气体:覆盖氮气、氩气、氢气、硅烷、三氟化氮及多种刻蚀、掺杂气体。
单瓶计算:按气体净重或瓶内压力,换算标准状态、20℃及自定义温压下的气体当量。
批量计算:预留100行,支持不同气体和瓶数的装量核算。
混合气计算:支持百分比、ppm浓度,计算两组分混合气及各组分的体积和质量。
文件已填入6组气瓶规格实例,修改黄色单元格即可自动计算,无需启用宏。
本次提供的是付费可编辑Excel工具,适合需要经常进行气体装量换算的厂务工程师、气化技术员及培训人员。
使用前请了解:默认压缩因子Z=1,结果为理想气体当量;高压精确核算需使用对应工况的Z。液化气体应按净重计算,实际可用量还需考虑残压、残液等因素。

#半导体厂务 #特种气体 #气体计算 #Excel工具 #厂务实用工具 

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