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西陇科学去铬液:适用于掩模版的高效蚀刻液

西陇科学去铬液:适用于掩模版的高效蚀刻液

今天,我们为大家介绍掩模版制造湿法刻蚀工艺中重要化学品:去铬液(蚀刻液)

西陇科学去铬液产品性能稳定、实用性强,适用于铬掩膜蚀刻、电镀铬退镀两大场景,是微电子精密制造、电镀精加工生产中的重要配套产品。

什么是掩模版?

掩模版,也叫光罩、光刻掩模版、光掩模,是微电子制造的核心模具,也是平板显示、半导体、触控、电路板等行业的重要材料。

目前主流的掩模版主要由石英玻璃基板与铬(Cr)金属组成。简单来说,这块“玻璃基板+铬膜”的薄片,就像精密制造的专用底片。我们先将设计好的电路图形刻蚀在铬层上,再通过曝光工艺,把底片上精准的电路图形批量转移到晶圆、基板等基材表面,以此实现电子产品的规模化、标准化生产。

去铬液用在哪儿?

在掩模版核心生产工序中,湿法刻蚀是决定图形精度的关键环节,其核心原理为选择性刻蚀:利用铬层与基底材料在刻蚀液中刻蚀速率相差很大的特点,在基底上得到需要的图形这个过程就像在微观世界里使用一种特殊的 “化学药水刀”,像雕刻木头一样将不需要的铬层去掉。而去铬液就是这个“化学药水刀”

资料图片:掩膜版主要生产制造流程及工艺

西陇科学去铬液

西陇科学去铬液是一款复配型混合溶液,外观为红色透明液体,属于强酸性氧化剂。可适配客户工艺需求进行定制。

产品性能稳定,氧化蚀刻能力适中,既能高效剥离、蚀刻铬层,又能最大程度保护基材不受损伤。

产品应用

1

 铬掩膜精准蚀刻

针对掩模版生产工艺,西陇科学去铬液可对光刻成型后的铬掩膜层进行均匀蚀刻。蚀刻均匀、速率平稳,无毛刺、无边缘残缺、无过蚀现象,能精准保留设计好的电路图案,保障光掩模的生产精度,满足微电子精密加工的要求。

2

 电镀铬退镀及残余铬层去除

除了掩模版制程,西陇科学去铬液还适用于各类基材的电镀铬退镀作业。无论是生产过程中多余的电镀铬层,还是基片加工后残留的铬掩膜层,都能温和、有效地去除。退镀后基材表面光洁无残留,且不损伤基材本体,有效提升产品合格率。

除了精度要求较高的光掩模版外,其他光学光栅、MEMS(微机电系统)、光学传感器与精密光学元件等产品,会用到铬蚀刻液。西陇科学去铬液提供灵活的定制服务,纯度和规格可根据用户需求调整,可同时适配多种生产场景,满足不同层级的蚀刻与退镀需求。

产品优势

  • 对铬的去除高效、干净

    去铬液能迅速溶解金属铬,同时不腐蚀硅基底,选择性好。

  • 配合标准光刻工艺,操作简单

    可以利用常规的光刻技术将图形转移到铬掩膜层上,不需要特殊设备,上手容易。

  • 相对安全、环境友好

    西陇科学这款去铬液基本无毒,对环境更友好。

  • 批次稳定,品质可控

    西陇科学对产品纯度和批次一致性有严格把控,满足连续生产的工艺要求。

使用注意事项

由于去铬液具有强酸性和氧化性,在实际操作中需注意:

  • 储存:放在阴凉、通风的地方,远离火源和热源,不要与还原剂、金属粉末混放在一起。

  • 操作防护:建议在耐腐蚀的塑料槽(如聚丙烯PP或聚四氟乙烯PTFE材质)中使用。操作人员需佩戴防酸手套、护目镜和防护服。

  • 安全提示:本品可能加剧燃烧,避免接触有机物或易燃物。

具体操作前,请阅读西陇科学提供的《化学品安全技术说明书》(MSDS)

如果您对上述产品有进一步了解或采购需求,欢迎联系我们获取更多技术资料与定制化服务。

策划制作

策划 | 陇哥

撰文 | 西米露

注:本文所提及产品的具体应用场景取决于客户的工艺与实际需求。本文观点仅供参考,不构成任何投资建议。