半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程(1.2.2-目录结构)

1.2.2 目录结构

好，上一节我们已经知道，Silvaco TCAD 不是一个软件，而是 ATHENA、ATLAS、DeckBuild、TonyPlot、DevEdit 等一堆工具组成的。

那么自然会有一个问题：这么多软件安装到电脑以后，到底放在哪里？

作者这一节就是来回答这个问题。

书里说，在真正开始仿真之前，最好先熟悉一下 Silvaco 的软件架构，包括：文件放在哪里；程序放在哪里；示例放在哪里；模型和材料参数放在哪里。

原书以 Windows 版本为例，假设 Silvaco 安装在：X:\sedatools，这里的 X: 只是代表某个磁盘，不一定非得是 X 盘。

第一层：sedatools

可以把：X:\sedatools理解成 Silvaco 的总安装目录。

在里面，原书列了几个重要文件夹。

我的sedatools点开是这样：

Doc，书里写的是：程序安装以及 SFLM 说明文档。简单理解就是：文档相关的东西。

exe，这个最好理解：可执行程序的快捷方式。也就是与真正启动各种 Silvaco 程序有关。

Shortcuts，这里主要放：程序控制以及主要仿真环境的快捷方式。

你不用区分 exe 和 Shortcuts 到特别细，只需要知道，它们都属于“启动软件、访问工具”的这一类目录。

最重要的是 lib

接下来这个目录比较重要：lib。

lib 可以先理解成：Silvaco 各个仿真组件及其相关文件的大仓库。

比如书里面就能看到：

你看，这正好对应上一节我们刚学过的那些软件。所以：Silvaco 并不是把所有东西都混在一起，而是不同模块分别有自己的目录。

以 ATHENA 为例，再往里看一层

原书专门展开了：

lib🔻athena

里面又有一个类似：5.20.0.R这样的文件夹。

这个其实就是：ATHENA 的版本目录。

所以你以后看到类似：atlas\某个版本号\，或者athena\某个版本号\，不要觉得它是什么特殊命令，它就是对应某个版本的软件文件。

注意，书中这个 5.20.0.R 是作者写书时使用的老版本示例，现在实际安装的版本号当然可能不同。

版本目录里面又有什么？

书里进一步列出了几个：common、docs、notes、x86-nt。

其中比较值得理解的是 common。

原书明确说，common 里面包括：模型文件、模板、材料参数等。

这一点其实很重要。比如我们以后使用 ATLAS 或 ATHENA 时，会发现很多材料参数、模型的默认设置不是你在 deck 里一条一条全部重新定义的。

Silvaco 本身就带着大量默认数据库和模型文件。所以你可以把：common简单理解成：这个模拟器运行时会用到的一些“公共知识库”。

而：docs是用户手册、组件更新之类的说明文档；notes主要是不同版本的新特性说明；x86-nt则是实际应用程序和运行环境相关的目录。

这些具体名字不需要背。

还有一个非常重要的目录：examples

原书下面还单独列出了：examples，也就是：Silvaco 自带的示例库。

里面又按照不同主题分类，例如书中列出了：

你现在一看应该就能明白：athena_diffusion → ATHENA 扩散相关例子；athena_implant → 离子注入相关例子；diode → 二极管例子；bjt → BJT 例子；power → 功率器件例子。

这个目录对于学习 Silvaco 很有用，因为它意味着：Silvaco 安装以后，本身就带了大量官方示例，不需要从零开始猜 deck 应该怎么写。

所以以后学习某种仿真，一个很自然的办法就是：找到官方 example➡️先跑通➡️看懂结构➡️再修改成自己的问题。

那为什么作者要专门讲这一节？

因为后面你会不断碰到：用户手册；示例 deck；材料参数文件；模型文件；不同版本的软件；TonyPlot、ATLAS、ATHENA 等程序。

作者希望你先知道：这些东西并不是全塞在一个地方，而是按照模块、版本和用途组织起来的。