乐于分享
好东西不私藏

光刻镜头杂散光管控难?OAS光学软件精准解决

光刻镜头杂散光管控难?OAS光学软件精准解决

点击蓝字 关注我们

投影光刻镜头杂散光分析案例

简介

投影光刻镜头杂散光分析是半导体光刻领域的核心仿真环节,聚焦 193nm 干法光刻、EUV 极紫外光刻等高端制程,针对光刻镜头内部杂散光与鬼像进行精准溯源、定量评估与抑制优化。依托 OAS 光学软件的非序列光线追迹、模型构建、杂散光分析等功能,全面解析杂散光传播机制,量化鬼像对成像面的干扰强度,保障光刻镜头高分辨率成像性能与芯片制造精度。

案例设置与操作

模型构建

基于 OAS 软件构建高精度投影光刻镜头三维模型,完整复现透镜组、光阑、镜筒等核心组件的几何结构与装配关系。依据光刻镜头实际参数,精准定义各光学元件的材料折射率、膜层透射率与反射率,对元件表面中频误差采用 PSD 函数建模,匹配真实加工特性。设置光源,划定目标像面与杂散光探测区域,建立贴合工程实际的仿真环境。

探测器设置

在 OAS 软件中配置专用杂散光探测器,设定光线能量阈值与空间接收范围,精准捕获鬼像、表面散射、结构件反射等各类杂散光信号。通过辐照度、光通量等参数量化采集,区分有效成像光与杂散光,排除环境噪声与系统误差,确保杂散光强度、分布及传播路径数据的准确性,为后续定量分析提供可靠依据。

分析优化

采用 OAS 非序列光线追迹算法,生成杂散光三维传播路径图,直观呈现短程散射、长程反射、鬼像等路径特征。借助鬼像路径反向提取与关键面自动筛选功能,定位镜片界面、结构件、边缘衍射等高风险杂散光源。

通过功率谱分析与像面能量统计,定量评估不同路径杂散光对成像对比度、CD 均匀性的影响程度。结合软件优化模块,调整膜层参数、优化机械结构消光设计、校正元件面形误差,实现杂散光强度可控衰减,提升光刻镜头成像质量与稳定性。

总结

本案例基于 OAS 光学软件完成投影光刻镜头杂散光全流程仿真分析,实现杂散光精准溯源、路径可视化与定量评估,为光刻系统杂散光抑制提供科学依据。OAS 软件在高精度建模、复杂光路追迹与杂散光量化分析方面表现卓越,可广泛应用于先进光刻镜头研发、性能验证与工程优化。

尊敬的客户,若您对OAS光学软件感兴趣或有意进行采购,请您通过下列官方渠道与我们联系,以便我们为您提供专业的产品信息和咨询服务。

联系电话:13397121597

申请软件试用

添加工作人员

END

软件介绍

2026 | ROD光学设计软件 – 搭载AI系统的序列成像设计软件

ROD (Ray Optical Design) 是专用于序列模式成像设计的光学设计软件,可辅助设计从放大镜到光刻系统的各类光学仪器。软件升级了基础优化算法,擅长处理复杂变量空间,内置优化设置功能便捷易上手、编辑自由度高;能依据输入指标计算定焦、变焦、离轴系统的初始结构,并自动生成对应优化设置,还支持光学系统公差分析、评估误差敏感度,为生产提供可靠方案,同时可输出高质量的光学系统图纸和报告。

2026|OAS光学软件 – 国产自研几何光学与波动光学跨尺度仿真

OAS(Optical Advanced Software)是一款专业的光学工具。该软件能够在3D空间中通过序列和非序列光线追迹技术,精确模拟光学系统的性能表现。它不仅提供了真实的设计功能、精确的分析功能,还具备高性能的产品可视化能力,帮助用户快速、高效地创建和修改光学系统设计,从初始概念阶段到后续工程建造阶段的迭代与优化。

武汉二元科技有限公司

公司介绍

武汉二元科技有限公司(Wuhan Binary Science And Technology Co., Ltd.),是一家专注于光学软件研发与服务的高新技术企业,一直推动光学工业仿真软件与AI技术的融合协同。公司旗舰产品OAS光学分析软件是一款完全自主可控的基于CAD建模、光学建模、几何光学、物理光学核心引擎内核开发、支持几何光学和物理光学跨尺度计算的光学工业软件。公司已在航空航天、新能源汽车、船舶与海洋工程、消费电子、装备制造、半导体制造业等细分领域内积累了大量的光学工程应用场景和研发经验。目前在多家企业客户中得到广泛应用,帮助工业企客户在产品创新、效率提升、成本控制等方面提供全新动能。

扫码添加工作人员

扫码关注我们

其他信息

邮箱market@whbinary.com

电话|027-6712 0028

官网|www.whbinary.com

👇点击阅读原文咨询产品或技术支持