GB/T47506—2026洁净室及相关受控环境微振动控制技术要求

GB/T47506—2026洁净室及相关受控环境微振动控制技术要求考试试卷

考试说明：本试卷满分100分，包含选择题（60分）、判断题（40分），所有题目答案均依据GB/T47506—2026原文内容，答题时间不限。

一、选择题（共20题，每题3分，共60分）

（一）单项选择题（共15题，每题3分，共45分）

1. GB/T47506—2026标准的正式实施日期为（）

A. 2026年04月30日B. 2026年11月01日C. 2027年04月30日D. 2027年11月01日

2. 标准中定义的微振动是指（）

A. 幅值极低、不会影响设备运行的振动B. 影响精密设备或仪器正常运行的振动幅值较低的振动

C. 仅由室内设备产生的轻微振动D. 仅由室外环境引发的微弱振动

3. 保证精密设备或仪器能正常运行的支承位置处最大振动限值，被定义为（）

A. 微振动阈值B. 极限振动值C. 容许振动值D. 安全振动值

4. 洁净室地基基础选址的最优条件是（）

A. 土质松软、土层深厚区域B. 土质较坚硬或基岩埋藏较浅的地区

C. 临近交通主干道区域D. 地势低洼、湿度较高区域

5. 电子洁净厂房动力管道内气体介质的流速宜控制在不大于（）

A. 12.70m/sB. 10.75m/sC. 8.50m/sD. 15.00m/s

6. 电子洁净厂房动力管道内液体介质的流速宜控制在不大于（）

A. 1.75m/sB. 2.75m/sC. 3.75m/sD. 4.75m/s

7. 对于步进式光刻机，在1~80Hz频段内，其容许振动速度均方根值为（）

A. 12.5μm/sB. 6.25μm/sC. 3.12μm/sD. 0.78μm/s

8. 扫描透射电子显微镜、冷冻电镜在1~80Hz频段的容许振动速度均方根值为（）

A. 3.12μm/sB. 6.25μm/sC. 0.78μm/sD. 12.5μm/s

9. 洁净室空态后进行微振动检测及相关设备安装作业时，人员着装行为需满足（）

A. 普通车间作业规范B. 洁净室相应洁净等级要求C. 简易防尘要求D. 无特殊要求

10. 洁净室内刚性基台和隔振装置的制作、搬运和安装，宜在（）完成

A. 洁净室空态之前B. 洁净室空态之后C. 设备调试阶段D. 生产运行阶段

11. 距离精密设备及仪器17m以内的重要风机和空调机组，电机与风机应采用（）传动方式

A. 皮带传动B. 链条传动C. 直接驱动系统D. 齿轮传动

12. 采用空气弹簧隔振装置时，气源的洁净度等级要求为（）

A. 不低于洁净室要求B. 可略低于洁净室要求C. 无特殊要求D. 高于洁净室两级

13. 洁净室微振动检测不包含以下哪种工况（）

A. 场地环境B. 空态C. 静态D. 检修态

14. 精度为0.03μm光波的干涉孔径测量仪的容许振动速度峰值为（）

A. 30μm/sB. 50μm/sC. 100μm/sD. 200μm/s

15. Ⅰ级天平的容许振动位移峰值为（）

A. 4.8μmB. 3.0μmC. 1.5μmD. 0.5μm

（二）多项选择题（共5题，每题3分，共15分，多选、少选、错选均不得分）

16. 洁净室微振动的外部振源包括（）

A. 交通、施工B. 风、地脉动C. 潮汐D. 室内动力设备

17. 洁净室微振动控制的核心方法包括（）

A. 阻隔内外振源振动传递B. 优化洁净室结构性能

C. 对精密设备采取隔振控制D. 完全消除环境自然振动

18. 洁净室结构微振动控制可采取的措施有（）

A. 减小精密设备区域柱距B. 增加梁柱截面尺寸和楼板厚度

C. 设置剪力墙或支撑D. 随意加大楼盖气流开孔尺寸

19. 洁净室微振动相关配套材料需满足的要求包括（）

A. 对应洁净等级B. 防静电C. 耐化学品D. 表面易清洁

20. 洁净室微振动检测报告应包含的内容有（）

A. 测试目的、检测时间B. 检测设备、检测工况

C. 测点布置、数据分析D. 检测结论

二、判断题（共20题，每题2分，共40分，对的打√，错的打×）

1. GB/T47506—2026标准无规范性引用文件。（）

2. 洁净室微振动仅会影响设备测量精度，不会降低产品生产良率。（）

3. 洁净室微振动控制需根据精密设备容许振动值或工艺要求确定控制标准。（）

4. 洁净室建设宜优先选址在高铁、地铁、高速公路等交通便利的强振源区域。（）

5. 隔振沟、隔振屏障可用于隔离洁净室外部的交通振动和施工振动。（）

6. 动力管道穿过洁净室墙板位置应设置隔振支吊架，进入洁净室前宜设置柔性接头。（）

7. 洁净室精密设备区域可通过减小楼板厚度提升结构抗振动性能。（）

8. 刚性基台上可根据洁净度要求设置气流孔洞。（）

9. 采用空气弹簧隔振装置时，无需对气源进行净化处理。（）

10. 洁净室隔振缝、隔振沟应完成填充和密封处理。（）

11. 空态后洁净室内设备安装作业，无需设置洁净缓冲区和隔离措施。（）

12. 洁净室内打孔、打磨作业前需搭建洁净棚并配备吸尘装置。（）

13. 高架地板可随意在洁净室内切割，无需防护措施。（）

14. 洁净室微振动环境因外部施工、设备故障发生改变时，需重新开展微振动检测。（）

15. 微振动容许振动值仅可通过频域形式表达，无时域表达形式。（）

16. 同一名称的精密设备，因型号、工艺不同，容许振动值可能存在差异。（）

17. 电子洁净厂房动力设备可采用皮带传动方式服务近距离精密设备。（）

18. 洁净室动态阶段需根据精密设备需求开展微振动监测。（）

19. 检测设备进入洁净室前只需简单擦拭，无需洁净处理和防产尘措施。（）

20. 电子洁净厂房动力设备和管道宜与结构采用柔性连接。（）

三、标准答案及原文依据

（一）选择题答案

单选题

1. B 原文依据：标准封面标注2026-11-01实施

2. B 原文依据：3.1 微振动定义

3. C 原文依据：3.3 容许振动值定义

4. B 原文依据：5.2.2 洁净室结构微振动控制要求

5. A 原文依据：附录B.3 动力管道振动控制要求

6. B 原文依据：附录B.3 动力管道振动控制要求

7. C 原文依据：附录A表A.1 典型精密加工设备容许振动值

8. C 原文依据：附录A表A.3 典型计量检测设备容许振动值

9. B 原文依据：7.1 作业人员要求

10. A 原文依据：7.2.4 设备安装作业要求

11. C 原文依据：附录B.2 动力设备隔振措施

12. A 原文依据：5.2.3 精密设备隔振控制要求

13. D 原文依据：8 检测和监测要求

14. A 原文依据：附录A表A.4 时域容许振动值

15. C 原文依据：附录A表A.4 天平类设备振动限值

多选题

16. ABC 原文依据：引言微振动外部振源分类

17. ABC 原文依据：5.1 微振动控制方法

18. ABC 原文依据：5.2.2 洁净室结构控制措施

19. ABCD 原文依据：6.1、6.2、6.3 材料通用要求

20. ABCD 原文依据：8 检测报告编制要求

（二）判断题答案

1. √ 原文依据：2 规范性引用文件（无规范性引用文件）

2. × 原文依据：引言，微振动会降低产品良率、影响设备使用寿命

3. √ 原文依据：4.2 一般控制要求

4. × 原文依据：5.2.1，洁净室宜远离强振源区域

5. √ 原文依据：5.2.1 外部振源隔离措施

6. √ 原文依据：5.2.1 动力管道控制要求

7. × 原文依据：5.2.2，需增加楼板厚度提升结构刚度

8. √ 原文依据：5.2.3 刚性基台设置要求

9. × 原文依据：5.2.3，空气弹簧隔振装置气源需净化处理

10. √ 原文依据：7.2.3 隔振缝、隔振沟作业要求

11. × 原文依据：7.2.5，空态后作业需设置隔离区域和洁净缓冲区

12. √ 原文依据：7.2.5 室内特殊作业防护要求

13. × 原文依据：7.2.5，室内切割高架地板需搭建洁净棚、配吸尘装置

14. √ 原文依据：8 检测和监测触发条件

15. × 原文依据：附录A.1，容许振动值有频域、时域多种表达形式

16. √ 原文依据：附录A.1.2 设备振动值影响因素

17. × 原文依据：附录B.2，近距离精密设备周边风机禁止皮带传动

18. √ 原文依据：8 动态监测要求