瞄准掩模版国产化!金石亚药联合中科卓尔研发高性能镀膜设备

近日，金石亚药发布公告，其全资子公司四川金石东方新材料科技有限公司（金石科技）联合成都中科卓尔智能科技集团有限公司、菲特（天津）检测技术有限公司及四川省相关政府部门，签署掩模版高性能镀膜装备研发项目协议，项目总投入资金3000万元，推动国产真空镀膜技术向半导体关键装备领域延伸。

根据9月23日披露的公告，该项目采用“企业找技术”双向揭榜挂帅模式，计划研发一台至少包含九个腔室的PSM（相移掩模版）专用团簇式镀膜设备，研发内容涵盖设备设计、制造、镀膜工艺开发、系统集成及验证全流程。项目实施周期为2026年3月至2027年6月，其中金石科技承担的装备制造研发等费用预计不低于1800万元。

在合作分工方面，中科卓尔作为发榜单位，负责牵头推动项目落地成都高新区，落实资金、人员及设备等资源；金石科技与菲特（天津）作为联合揭榜单位，协同推进相关技术研发与项目实施。

据了解，金石科技长期从事磁控溅射真空镀膜设备研发制造，产品主要应用于节能玻璃、光学玻璃、平板显示及汽车零部件等领域。此次合作是其将现有真空镀膜技术向半导体掩模版制造领域拓展的重要尝试。

PSM相移掩模版是先进光刻工艺中的重要组成部分，其制造对薄膜厚度均匀性、光学性能及缺陷控制提出较高要求，相关专用镀膜设备具有较高技术壁垒。

信息来源：金石亚药