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半导体检测设备为什么越来越依赖算法与软件
半导体检测设备为什么越来越依赖算法与软件[图片][图片][图片]图1 晶圆进入表面检测设备，检测从稳定输送、照明与信号采集开始检测设备常被称为晶圆厂的“眼睛”。随着芯片结构变小、图形变密，硬件采到的仍只是亮度、散射强度、电子信号或波形，并不会自动写着“这里有缺陷”。先说结论：检测...
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