一、中船特气
主营业务:含氟蚀刻电子特气,配套精细氟化学品
电子特气:量产三氟化氮、六氟化钨等氟系特气,产品送入多家国内晶圆制造产线
氟化工:依托电解氟化工艺搭建产线,延伸布局三氟甲磺酸类氟精细化工品类。
二、昊华科技
主营业务:氟聚合物、含氟特气、碳捕集材料
电子特气:旗下院所量产六氟丁二烯、高纯六氟化硫,供给面板与芯片制造厂商
氟化工:贯通萤石到氟树脂全链条,量产制冷剂、氟橡胶等大宗氟化工原料。
三、巨化股份
主营业务:基础氟制冷剂、氟树脂
电子特气:子公司博瑞电子投产三氟化氮、六氟化钨,对外供给半导体蚀刻用气
氟化工:自建氢氟酸配套产能,为自身及行业特气企业供给上游氟化工原材料。
四、华特气体
主营业务:各类特种工业气体,氟系电子气体
电子特气:自研高纯四氟化碳、光刻用氟气,多款产品完成头部晶圆厂资质认证
氟化工:外购基础氟原料深加工,无上游原矿,聚焦氟精细气体精加工环节。
五、雅克科技
主营业务:半导体前驱体、含氟特气、配套光刻辅助试剂
电子特气:收购科美特落地六氟化钨产能,氟系特气搭配前驱体打包供货晶圆厂
氟化工:向下采购氟化原料加工特气,同步布局少量含氟半导体精细中间体。
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