定制掩模版,EBL 电子束光刻加工,ICP、RIE刻蚀,磁控溅射,电子束蒸发,可以蒸镀,溅射镀铬,金,银,铜等金属材料定制掩模版,EBL 电子束光刻加工,ICP、RIE刻蚀,磁控溅射,电子束蒸发,可以蒸镀,溅射镀铬,金,银,铜等金属材料