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芯片的“拼团”流片:一个掩模版上挤进几十个设计,成本砍到脚踝

芯片的“拼团”流片:一个掩模版上挤进几十个设计,成本砍到脚踝

文章来源:半导体与物理

原文作者:jjfly686

本文介绍了芯片的“拼团”流片。

芯片从设计到量产,要经过立项、概念、验证、流片、封测、发布六大关卡。其中最烧钱的就是流片制造——一套先进工艺的掩模版动辄数百万甚至上千万美元。对初创公司和科研团队来说,一次流片就可能烧光全年预算。有没有办法让多个设计“拼团”共享一次流片?这就是MPW(多项目晶圆)。

MPW的核心思路很直接:把多个不同芯片设计拼进同一套掩模版。掩模版是光刻的“底片”,传统单项目流片(NTO)是整个曝光场只放一个设计,在晶圆上重复排列。而MPW把曝光场切成若干小区域,每个区域塞一个不同设计,比如A、B、C、D。然后这套组合掩模版在整片晶圆上反复曝光,每个shot里都包含这组设计。最终一片晶圆上会产出成百上千个不同项目的芯片。
这带来的最大好处是成本分摊。一套掩模版的钱由所有参与项目按面积分摊,原本几百万的流片费可能降到几万块。对高校科研、初创公司、小批量验证来说,这是唯一能负担得起的路径。
当然,MPW也有代价。所有设计必须遵守统一的工艺规则,不能随意定制;切割分离时要精确识别每个项目;如果某个设计良率差,可能影响相邻区域;知识产权保护也更复杂。但这些代价换来的快速迭代机会,远比昂贵的一次性流片划算。
总结:MPW把芯片流片从“独栋别墅”变成了“合租公寓”,让更多创意有机会变成硅片上的现实。从立项到发布,它缩短了从想法到样片的距离,是半导体生态中不可或缺的创新孵化器。

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不代表中国科学院半导体所立场


编辑:银砾

责编:柚子露

投稿邮箱:weixin@semi.ac.cn

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